TC Wafer
TC Wafer
TC Wafer是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度的實(shí)時(shí)測(cè)量。借助于放置在晶圓表面特定位置之間的溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實(shí)溫度測(cè)量值以及整片晶圓溫度分布；同時(shí)也可利用此傳感器來(lái)持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫，降溫過程及延遲周期等。
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IC Wafer
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HQ-RTS-P系列 紅外光學(xué)溫度計(jì)
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